エレクトロニクス-グレードの極低温空気分離ユニット

このユニットは、半導体製造、太陽光発電製造、電子化学製造に高純度の気体/液体酸素、窒素、アルゴンを供給するように設計されています。{0}その設計の核心は、エレクトロニクス グレードの極低温空気分離ユニットの定常状態整流制御と微量不純物除去機能にあります。-、供給ガスが全炭化水素、CO₂、水分、その他の汚染物質に対してエレクトロニクス業界によって課された厳しいしきい値を確実に満たすようにします。

基本原則

このプロセスは逆ブレイトン サイクルに従います。事前に精製された空気は約 -170 度から -196 度まで深く冷却され、酸素、窒素、アルゴンの沸点の違いを利用して構造化充填塔で複数の精留ステップが行われます。-高精度の調整バルブとオーバーヘッドコンデンサーの熱負荷を調整して制御することで、製品の純度が電子グレードのレベルで安定します。-このシステムは、モレキュラー-シーブ吸着-前精製、ターボ-冷凍機、コールドボックス断熱-を統合しており、エレクトロニクス-グレードの極低温空気分離ユニットを長期間にわたって継続的に低エネルギー消費で動作させることができます。

技術パラメータ (代表的な設計範囲)

流量と純度は反比例の関係にあります。最終的なマッチングは、供給空気の組成とユーザーの圧力要件に基づいています。{0}

温度範囲とエネルギー性能

• メイン熱交換器の末端温度差: 全負荷範囲にわたって 3 度以下。
• 下部塔底温度: -170 度～-175 度。上部塔頂温度: -192 度から -196 度。
• 全体のエネルギー消費量は、従来の工業グレードのユニットより約 12 ～ 18% 低くなります。これは主に、高効率のブーストされたターボ エキスパンダーと充填塔の圧力降下の減少によるものです。-冷気損失は総冷凍能力の 5% 未満に維持されるため、電気代が高い地域では特に有利です。

コアコンポーネントと耐用年数

• メインコンデンサー: 5052 アルミニウム合金または 304L ステンレス鋼 (耐応力腐食性)。
• 梱包: 比表面積が 500 m2/m3 以上の高効率波形構造梱包。-
• モレキュラーシーブ: 13X-APG グレード、設計耐用年数 6 年以上。

産業用途

このユニットは、集積回路ウェーハ製造工場、フラット パネル ディスプレイ プラント、太陽光発電インゴット引上げ作業、光ファイバー プリフォーム製造、特殊ガス充填ステーションにサービスを提供し、現場でのガス生成またはパイプライン供給を提供します。-急速な負荷変更機能 (30% ～ 110%) により、供給空気圧と周囲温度の変動に対応します。-外部の液体タンカー輸送への依存が排除され、物流時の汚染リスクが軽減されます。

安全および制御システム

• 炭化水素と露点を継続的に監視するための別個の安全計装システム (SIS) を備えた統合 DCS。
• -自動ブローダウンおよび緊急停止ロジックを備えた、液体酸素用のオンライン アセチレン分析装置が組み込まれています。-
• コールドボックスの環状体にはパーライトが充填され、窒素ブランケットで保護されています。{0}

メンテナンスとモジュール式レイアウト

スキッド{0}}に取り付けられたメインのコールド ボックスは、現場での組み立て時間を短縮するために、事前浄化セクションとは別に配置されています。{1}{2}すべての機器接続にはデュアル ブロック バルブが取り付けられており、オンライン校正が容易になります。リモート診断インターフェイスは、動作パラメータの監視と予防保守アラートのために提供されます。

選択と補足構成

システムを定義する際には、供給空気圧、対象製品の種類と純度、毎日の負荷プロファイルを指定してください。{0}高純度アルゴン-または超高純度窒素（O₂ 0.1 ppm 以下）が必要な場合は、脱酸素カラムまたは追加の吸着精製段階を組み込むことができます。-将来の容量拡張に備えてスペースを確保しておくことをお勧めします。

Shenger Gas は極低温分離技術を専門としています。エレクトロニクス グレードの極低温空気分離ユニットは、標準化された設計ライブラリから構成されており、ユーザー定義の流量と純度の要件に合わせて迅速にプロセスを調整できます。-機械的完全性と熱バランスを維持するために、プロジェクト固有のコールドボックス配管レイアウトが採用されています。-エネルギー消費、設置面積、投資指標に関するエンジニアリングの概要は、動作条件が提供されると利用可能になります。

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